Wafergard
SG YY 系列气体过滤器提供卓越的微粒过滤功能，可最大限度地提高光伏电池和显示器制造的产量。
与高纯度气体、惰性气体和 CDA 应用具有出色的相容性
卓越的下游清洁度
应用
Wafergard
SG 气体过滤器应用
光伏工艺气体
显示制造工艺气体
煤气柜
阀组箱
煤气板
零件号
Wafergard
SG 气体过滤器部件号
零件号 产品类别 最大流量 接头尺寸和类型 长度
WGFG02PR1 Wafergard
SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分 1/4" 垫圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard
SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分 1/4" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard
SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分 1/2" 垫圈密封（兼容 VCR
） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard
SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分 3/8" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard
SG F Mini XL 气体过滤器 120 升/分 1/2" 垫圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard
SG Max 气体过滤器 500 升/分 1/4" 垫圈密封（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/内螺纹出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard
SG Max 气体过滤器 500 升/分 1/4" 垫圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard
SG Max 气体过滤器 1000 升/分 1/2" 垫圈密封（兼容 VCR
） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard
SG Max 气体过滤器 500 升/分 1/4" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard
SG Max 气体过滤器 1000 升/分 3/8" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard
SG Max 气体过滤器 1000 升/分 1/2" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard
SG F 微型气体过滤器 60 升/分 1/4" 垫圈密封（兼容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard
SG F 微型气体过滤器 60 升/分 1/4" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard
SG PA 气体过滤器 60 升/分 1/4" 垫圈密封（兼容 VCR
） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard
SG PA 气体过滤器 60 升/分 1/4" 压缩密封（与 Swagelok
兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR
compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok
compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR
compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard
SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok
compatible) 119.3 mm (4.70")