Entegris 过滤器

Microgard™ Plus/Plus LE/LE 尼龙过滤器
  • Microgard™ Plus/Plus LE/LE 尼龙过滤器

  • 清洁、基于溶剂的散装光化学过滤器,具有高流速性能和污染物保留能力。

    应用

    Microgard™ Plus/Plus LE/LE 尼龙过滤器应用

    • 行业:半导体、化学制造、数据存储 
    • 工艺:光刻、设备、湿法蚀刻和清洁、介质 
    • 润滑油、化学品制造 
    • 化学:光刻胶、光化学品、溶剂 
    • 安装点:散装 

    产品规格

        PLUS/PLUS LE LE 尼龙
    材料 疏水性UPE 聚酰胺(尼龙 6)
      膜面积 4 英寸 UPX: 10 nm: 9200 cm² (9.9 平方英尺)
    其他: 8000 cm² (8.6 平方英尺)
     
        10 英寸 10 纳米:13,200 厘米²(14.21 平方英尺)
    20 纳米:12,000 厘米²(12.9 平方英尺)
    其他:8000 厘米²(8.6 平方英尺)
    10”:7000 厘米²(7.5 平方英尺)
        20 英寸 20 nm:24,000 厘米²(25.8 平方英尺)
    其他:20,000 厘米²(21.5 平方英尺)
    20 英寸:14,000 厘米²(15.1 平方英尺)
        30 英寸 30,000 厘米²(32.3 平方英尺)  
        10" 不对称 11,600 厘米² (12.5 平方英尺)  
        20" 不对称 23,200 厘米² (25 平方英尺)  
      支撑、芯套 高密度聚乙烯 高密度聚乙烯
      O 形密封圈 EPDM 和 E-FKM 氟橡胶
    留存率   3、5、10纳米 10、20纳米
    工作条件 最大正向压差: 0.34 兆帕(3.4 巴、50 磅/平方英寸、3.5 千克/厘米²)@ 20°C(68°F) 0.28 兆帕(2.8 巴、41 psid、2.9 千克/厘米²)@ 20°C (68°F)
      最大反向压差: 0.24 兆帕(2.4 巴、35 磅/平方英寸、2.5 千克/厘米²)@ 20°C(68°F) 0.21 兆帕(2.1 巴、31 psid、2.2 千克/厘米²)@ 20°C(68°F)
      工作温度 60°C(140°F) 50°C(122°F)
        LE 尼龙
    材料 聚酰胺
      支撑、芯套 高密度聚乙烯
      Chemlock 钥匙 肺动脉高压
      O 形密封圈 氟橡胶
    筛选器类型 不对称  
    膜面积 10 纳米、20 纳米、0.05 微米(70 毫米)  
      10”:0.71 平方米  
      20”:1.42 平方米  
      30”:2.13 平方米  
      10 纳米,20 纳米(83 毫米)  
      10 英寸 1.31 平方米  
    留存率 10 纳米、20 纳米、0.05 微米  
    工作条件 最大正向压差: 0.28 兆帕 @ 25°C (77°F)
      最大反向压差: 0.21 兆帕 @ 25°C (77°F)
      工作温度 60°C(140°F)

     

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