Entegris 过滤器

美国Entegris英特格Planargard® APR 块状 CMP 过滤器
  • 美国Entegris英特格Planargard® APR 块状 CMP 过滤器

  • 美国Entegris英特格Planargard® APR 块状 CMP 过滤器
    下一代泥浆过滤器用于解决先进节点工艺中泥浆中大颗粒和细颗粒的减少问题。

    获得专利的多层介质具有高保留性,有助于减少晶圆缺陷并提高产量
    介质设计可吸收细小颗粒,最大限度地减少 CMP 后低效清洁,从而增加总体拥有成本
    使用我们的 Chemlock ® 过滤器外壳,节省空间、清洁、易于安装

    规格

    长度 一个
    10 英寸 246 毫米 ±3 毫米 (9.68 英寸 ±0.12 英寸) 266 毫米 ±3 毫米 (10.47 英寸 ±0.12 英寸)
    20 英寸 496 毫米 ±4 毫米 (19.53 英寸 ±0.16 英寸) 516 毫米 ±4 毫米 (20.31 英寸 ±0.16 英寸)
    30 英寸 746 毫米 ±6 毫米 (29.37 英寸 ±0.23 英寸) 766 毫米 ±6 毫米 (30.16 英寸 ±0.23 英寸)
    40 英寸 996 毫米 ±6 毫米 (39.21 英寸 ±0.23 英寸) 1016 毫米 ±6 毫米 (40.00 ±0.23 英寸)
    产品规格
    材料: 膜:聚合物/非聚合物介质组合
      芯材:聚丙烯
      墨盒 O 形圈:EPR、FKM、硅胶、2-222
    产品类型: 国家银行
    最高工作条件: 最高温度:80°C (176°F)
      最大正向压差:25°C (77°F) 时 0.48 MPa (4.8 bar, 70 psi)
    LOGO

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