应用Fluorogard® NX 过滤器应用
- 半导体和显示器市场应用中的中高流量化学应用
- 湿法蚀刻和清洗 (WEC) 应用/一次通过和再循环
- 大宗化学品制造
- 散装化学品输送系统 (BCDS)
- 腐蚀性水性化学品
- 高级溶剂
注意：不建议将 Fluorogard NX 过滤器用于 SPM、SC1 和 SC2 等高排气解决方案。Entegris 建议在这些应用中使用QuickChange ® NX 过滤器。
NXT 筒式过滤器
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| 墨盒长度 |
A（总体） |
B（对照） |
C（肩部） |
| 4” |
132.3 毫米 (5.21") |
115.0 毫米 (4.53") |
113.0 毫米 (4.45") |
| 10 英寸 |
262.3 毫米 (10.33") |
245.0 毫米 (9.65") |
243.0 毫米 (9.57") |
| 20 英寸 |
498.3 毫米 (19.62") |
481.0 毫米 (18.94") |
479.0 毫米 (18.86") |
| 30 英寸 |
738.0 毫米 (29.06 英寸) |
721.0 毫米 (28.39 英寸) |
719.0 毫米 (28.31") |
NXE 筒式过滤器
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| 墨盒长度 |
A（总体） |
B（对照） |
C（肩部） |
| 10 英寸 |
244.0 毫米 (9.61") |
227.0 毫米 (8.94") |
225.0 毫米 (8.86") |
| 20 英寸 |
471.0 毫米 (18.54") |
454.0 毫米 (17.87") |
452.0 毫米 (17.80") |
| 30 英寸 |
699.5 毫米 (27.54") |
682.0 毫米 (26.85 英寸) |
681.0 毫米 (26.81")
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产品规格
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NXT 墨盒 |
NXE 墨盒 |
| 材料 |
膜 |
疏水性聚四氟乙烯 |
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支架、芯线、套管、端盖、Chemlock®钥匙 |
肺动脉高压 |
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O 形圈选项 |
E-FKM、E-ETP、Kalrez® |
| 留存率 |
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0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5、10 微米、15、30 纳米 |
0.05、0.1、0.2、0.5 微米、15、30 纳米 |
| 膜表面积 |
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4”：0.36 平方米（ 3.88平方英尺） |
10”：2.1 平方米（22.6 平方英尺） |
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10 英寸：0.9 平方米（ 9.68平方英尺） |
20 英寸 4.2 平方米（45.21 平方英尺） |
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20 英寸：1.8 米2（19.38 平方英尺） |
30 英寸 6.3 平方米（ 67.81平方英尺） |
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30 英寸：2.7 平方米（ 29.06平方英尺） |
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| 金属萃取物 |
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对 23 种金属进行检测 |
| 最大工作条件 |
工作压力 |
0.58 兆帕（5.8 巴，84 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
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正向压差 |
0.44 兆帕（4.4 巴，64 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
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0.05 兆帕（0.5 巴，180°C [356°F] 时 7.5 磅/平方英寸） |
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反向压力 |
0.34 兆帕（3.4 巴，50 磅/平方英寸@25°C [77°F]） |
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工作温度 |
180°C（356°F） |
| 注意：预湿选项发货时 H 2 O 2含水量为 0.9%。请联系 Entegris 了解正确的使用和处理方法。Fluorogard NX 过滤器不含 PFOA。保质期（预湿选项）为一年。 |