新推主营品牌韩国ATOVAC真空计、压力计、排气节流阀、质量流量控制器

欢迎来到 ATOVAC co.,ltd.

韩国ATOVAC公司成立于1997年10月，开始开发半导体生产过程中的气体和真空控制系统、测量等主要部件。

我们正在推动 MFC、MFC 控制器、对流压力计和控制器、离子压力计和控制器、电容压力计、节流阀控制器等智能组件的开发。我们 ATOVAC 将保持我们作为可靠和受人尊敬的公司的

地位未来和现在。请给我们更多的鼓励和建议。我们始终对客户的意见持开放态度。

GVC2200真空计控制器

GVC2200型号可同时连接使用“热阴极电离计、对流增强型皮拉尼计”和“电容压力计”,测量范围为高真空(10-9Torr)至大气压(1000Torr)。这相当于“对流增强型皮拉尼计”和“热阴极电离计”的连续测量范围。另外,该控制器的设计是根据连接规的个数,按照需求的情况,可以对测量通道进行选择。Interface端口可与外部其他机器连接，由6至8个独立的设定点继电器,4个模拟输出，TTL、IG开/关功能组成。另外,利用内部设定点,在脱离对流计压力测定范围进入高真空时,自动打开离子计,除气功能也可作为时间控制使用。

特点

离子真空计控制器标准尺寸，便于安装

可以选择测量通道

图形LCD显示。

6、8个Set-point供外部设备使用

离子计保护功能（自动开启/关闭）

状态栏可以确认SP、IG on/off等目前状态

ATM、零点设置按钮

技术规格

测量范围	对流增强型皮拉尼计 : 1000Torr至8.0 x 10-4 Torr 离子计 : 1.0x10-4至1.0 x 10-9 Torr
离子计灵敏度	工厂设置:10/Torr
发射电流	0.1mA、1mA、10mA 可调（默认设置：1mA）
收集极电压	0V
阴极电压	+30Vdc
栅极电压	+180Vdc
除气	I2R：10Vac 5amp （Max）
显示	128 x 64 位LCD
设定点继电器	6个，可独立设置，SPDT (0.5 Amp @125 VAC)
设定范围	对流计: 1000 ~ 1.0 x 10-3 Torr 离子计: 1.0 x 1.0-3 ~ 1.0 x 10-9 Torr
电压输出	0-10Vdc 用于2个CG、1个IG 0-10Vdc用于电容压力计
接口	RS232C
电源	195 ~ 240VAC @50/60 Hz, 105VA
尺寸	W x H x D : 241mm x 88mm x 250mm

离子计

Bayard-Alpert（热阴极）规管的压力指示是基于气体分子电离产生的连续电流。负电子由从加热的阴极以控制良好的固定速率射出并朝着带正电的栅极（阳极）加速运动。电子进入栅极和对地连接的收集极空间内。在这个空间内电子与真空系统中的气体分子碰撞产生正离子。然后正离子被位于柱状栅极中心轴处的接地的收集极收集。在固定的灯丝对栅极的电压和电子发射电流下，压力低于10-3Torr时正离子形成率直接与分子密度（压力）相关。离子流的强度在经压力单位调校的微安计上显示出来。由于压力的指数是线性的，热阴极BA规管通常在压力低于10-3Torr时被认为进行连续的压力测量时精确的。

技术规格

测量范围	4*10-10至10-3Torr
精度-N2（典型值）	±20%
X射线极限	4*10-10Torr
灵敏度-N2	10/Torr
电子轰击除气EB	100W
焦耳除气I2R	10A时，6.5至7.3Vac
阴极-加热电流	4-6A
阴极-加热电压	3-5V
阴极-电压	+30Vdc
收集极电压	0V
栅极电压	+180Vdc
烘烤	450℃
收集极	0.01英寸直径，钨丝
阴极	双钨丝或单根铱丝
栅极	难熔金属
全长	152mm
插入长度	无
外壳	Nonex 7220玻璃
安装方向	任意，垂直优先
法兰	3/4英寸玻璃管口和金属管口; KF25; CF35

对流增强型皮拉尼计

CG202真空测量范围为8.0 x 10-4 至1000 Torr。需配套GVC2200控制器使用。

技术规格

测量范围	8.0 X 10-4至1000Torr
灯丝材质	铂丝99.999%
安装方式	水平安装
工作温度	0-50℃
烘烤温度高可达	50℃
法兰	KF16、KF25、CF16

压力控制系统

APC200与GPC3000压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC)，与之相应的压力信号连接显示器，同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。

特点

至多可以连接4个MFC的PCB卡，每张PCB由2通道(2个MFC)组成。

标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项)，实现所有远程控制都是可能的。