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Entegris 过滤器

Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器

  • Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器

  • Wafergard MAX HT 是一款专为高温、高纯度气体开发的在线气体过滤器，具有出色的颗粒去除性能。

    专为高达 200°C 的 TEOS 和 High-k 材料而设计
    与 148 mm 面对面气体过滤器兼容
    紧凑的设计可与许多现有的喂料系统一起使用，提供设计灵活性和多功能性
    特殊烘烤可快速启动供气管线
    低压差可稳定供料

    产品规格

     材料 膜  聚四氟乙烯
      支持 粉煤灰
      住房 316L不锈钢
    排除粒径 ≥0.0015微米
    颗粒捕获率 ≥99.9999999% @ 25°C
    初始清洁度 大于 0.01 µm 的颗粒 0.03 个/L 或更少
    内表面粗糙度 Ra < 0.17 微米
    联系 1/2" (12.7 mm) 外螺纹垫圈密封（兼容VCR® ）
    使用条款 最大工作压力 0.99 MPa @ 0 至 200 °C
      最大允许正压差 0.70 MPa @ 0 至 40 °C
        0.08 兆帕@200°C
      最高工作温度 200℃（惰性气体）
    他泄漏率 <1×10 -10  Pa·m 3 /秒
    流量 请检查性能数据。

    型号

    Wafergard® MAX HT 在线气体过滤器型号
    型号 长度
    WGMXMPRR4HT 127 毫米（5.00 英寸）
    WGMXMPRR4HTL 148 毫米（5.83 英寸）

     

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