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Entegris 过滤器

Wafergard® II F 微型在线气体过滤器

  • Wafergard® II F 微型在线气体过滤器

  • Wafergard® II F 微型在线气体过滤器可在高纯度气体系统中提供颗粒去除性能。 该过滤器非常适合惰性和反应性气体，可用于所有等级的半导体工艺气体。 纤细的机身直径使其可以安装在空间有限的燃气面板和橱柜中。 

    使用 PTFE 膜提高过滤性能
    低压降意味着低蒸气压气体的冷凝风险较小
    可与所有等级的半导体工艺气体一起使用
    与惰性气体和高反应性气体（例如臭氧）兼容

    型号

    Wafergard® II F 微型在线气体过滤器型号
    型号 配件尺寸和类型 长度 应用
    WG2FT1BW2 6.35 毫米（1/4 英寸）对焊管 89.9 毫米（3.54 英寸） 半导体
    WG2FT1RF2 入口 6.35 mm (1/4") 垫圈密封（兼容 VCR® 接头）公头，出口相同母头 88.9 毫米（3.50 英寸） 半导体
    WG2FT1RR2 入口/出口 6.35 mm (1/4") 垫圈密封（兼容 VCR 接头）外螺纹 84.1 毫米（3.31 英寸） 半导体
    WG2FT1RR2L 入口/出口 6.35 mm (1/4") 垫圈密封（兼容 VCR 接头）外螺纹 84.1 毫米（3.31 英寸） 生命科学
    WG2FT1SS2 6.35 mm (1/4") 压缩密封件（与世伟洛克接头兼容） 73.7 毫米（2.90 英寸） 半导体
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