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Wafergard® II 3XP 在线气体过滤器
  • Wafergard® II 3XP 在线气体过滤器

  • Wafergard® II 3XP 在线气体过滤器
    Wafergard ® II 3XP 在线气体过滤器流量高达 500 slpm,全部采用不锈钢,具有卓越的流量特性,专为需要超高清洁度的中等流量应用(例如离子注入、退火和外延生长设备)而设计。筛选。

    优化的高流量、高颗粒去除性能过滤部分实现了常规产品3倍的流量和3个数量级的颗粒去除性能。
    标准尺寸可轻松安装到现有燃气面板和供气系统中,无需更改设计
    所有 316L 不锈钢结构均耐腐蚀,与大多数半导体材料气体兼容,即使在高温和脉动应用中也能提供可靠性

    型号
    Wafergard® II 3XP 在线气体过滤器型号
    型号    形状    联系
    WG2L200SS3R2    小型的    1/4" 垫圈密封(1/4" VCR 兼容)
    WG2L200SS3R4    小型的    1/2" 垫圈密封(1/2" VCR 兼容)
    WG2L500SS5R2    迷你加大号    1/4" 垫圈密封(1/4" VCR 兼容)
    WG2L500SS5R4    迷你加大号    1/2" 垫圈密封(1/2" VCR 兼容)

     
    LOGO

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