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Entegris 过滤器

Wafergard® SL 1.125

  • Wafergard® SL 1.125" C 型密封集成气体过滤器

  • Wafergard® C-Seal 集成过滤器将一流的过滤器与最小的集成设计相结合，可显着减少气体面板占地面积并提供终极的过程保护。

    与 1.125" C-Seal 集成接口兼容，最大限度地减少排气并提供出色的耐腐蚀性
    减少内部容积并提高二次侧的清洁度
    洁净室制造和包装
    可选择镍或不锈钢膜  

    型号
    Wafergard® SL 1.125" C 型密封集成气体过滤器型号
    型号    产品类型
    WGSLNFC1H    NF-Mini XL 过滤器
    WGSLNFC1L    NF-微滤器
    WGSLNFC1M    NF-迷你过滤器
    WGLSFC1L    SF-微滤机
    WGLSFC1M    SF-迷你过滤器

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