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Entegris 过滤器

Wafergard® SL 1.125

  • Wafergard® SL 1.125" W 型密封气体过滤器

  • 这是一款集成气体过滤器，可减少标准在线设计气体面板所需的空间，从而减少投资并增加变化。

    SurfaceLine™ 集成气体过滤器可节省气体面板上的空间
    全 316L 不锈钢结构，与大多数半导体工艺气体具有出色的兼容性（不适用于 O3 气体）
    特殊的清洗技术和高温烘烤实现了优异的初始清洁度并实现供气管线的快速启动。
    高流量和低压降特性非常适合低蒸气压气体
    高颗粒去除效率有助于提高产量
    除了紧凑、节省空间的设计之外，SF Mini Plus 过滤器还具有与 SF Mini XL 类似的高流量特性，可用于工艺气体和吹扫气体。

    型号
    Wafergard® SL 1.125" W 型密封气体过滤器型号
    型号    过滤器类型
    WGSLSFW1H    SF 迷你 XL
    WGSLSFW1M    顺丰迷你
    WGSLSHW1MP-T    SF迷你加

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