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Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器

  • Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器

  • Chambergard FV50 气体扩散器由高效、坚固的镍盘膜制成，可快速减少负载锁和传输室中的颗粒和排气时间。

    额定寿命为 100 万次循环，专为相对较高的入口压力而设计
    构成紧凑扩散器的专利烧结镍技术在各种应用中提供卓越的性能
    从气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，以最大限度地减少晶圆缺陷
    通过引入现有设备和改造来减少停机时间

    型号
    Chambergard™ FV50D XL 气体扩散器型号
    型号    产品类型
    CG2NDD050R2    Chambergard™ 快速通风扩散器

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