Entegris 过滤器

Chambergard™ 快速通风扩散器
  • Chambergard™ 快速通风扩散器

  • Chambergard 快速排气扩散器通过减少负载锁和传送室中的颗粒并减少排气时间来提高效率和吞吐量。

    获得专利的烧结镍技术在各种应用中提供卓越的性能
    从气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒,以最大限度地减少晶圆缺陷
    快速排气,不会扬起颗粒或在晶圆上沉积颗粒,从而提高产量并缩短周期时间
    扩散器流量特性与高性能过滤器相结合提高了效率和吞吐量
    通过引入现有设备和改造来减少停机时间

    型号
    Chambergard™ 快速通风扩散器型号
    型号    O 型圈尺寸    O型圈槽外径    出口侧连接方式    O型圈槽内径    O 型圈凹槽深度    工作条件:最大入口压力(出口真空时)    使用条件:最大允许压差    使用条件:最高工作温度    入口侧连接方式
    SI2P134R5    没有任何    没有任何    排队    没有任何    没有任何    0.5 兆帕(75 磅/平方英寸)    0.24 兆帕(35 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D16TR2    2-117    26.4 毫米(1.03 英寸)    ISO NW-16,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装    20.3 毫米(0.79 英寸)    1.9 毫米(0.07 英寸)    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D228R2    2-117    26.4 毫米(1.03 英寸)    ISO NW-16,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装    20.3 毫米(0.79 英寸)    1.9 毫米(0.07 英寸)    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容公/母垫圈密封接头或对焊接头
    WG3D25LR2    2-123    35.9 毫米(1.41 英寸)    ISO NW-25,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装    29.8 毫米(1.17 英寸)    1.9 毫米(0.07 英寸)    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D25SR2    2-123    35.9 毫米(1.41 英寸)    ISO NW-25,与标准 ISO 隔板夹兼容的隔板安装    29.8 毫米(1.17 英寸)    1.9 毫米(0.07 英寸)    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D3LBW2    没有任何    没有任何    没有任何    没有任何    没有任何    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    20 毫米对焊管延长管
    WG3D401R2    2-246    114.3 毫米(4.50 英寸)    ISO NW-100,螺栓连接    122.4 毫米(4.81 英寸)    2.6 毫米(0.10 英寸)    0.25 兆帕(35 磅/平方英寸)    0.35 兆帕(50 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D40DR2    2-224    52.1 毫米(2.05 英寸)    ISO NW-40,隔板安装与标准 ISO 隔板夹具兼容    44 毫米(1.73 英寸)    2.6 毫米(0.10 英寸)    0.3 兆帕(45 磅/平方英寸)    0.4 兆帕(60 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D40TR2    2-224    52.1 毫米(2.05 英寸)    ISO NW-40,隔板安装与标准 ISO 隔板夹具兼容    44 毫米(1.73 英寸)    2.6 毫米(0.10 英寸)    0.7 兆帕(100 磅/平方英寸)    0.8 兆帕(115 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头
    WG3D50DR2    2-229    67.9 毫米(2.67 英寸)    ISO NW-50,隔板安装与标准 ISO 隔板夹具兼容    59.9 毫米(2.35 英寸)    2.6 毫米(0.10 英寸)    0.2 兆帕(30 磅/平方英寸)    0.3 兆帕(45 磅/平方英寸)    带 O 形圈 100°C,不带 O 形圈 400°C    6.35 mm (1/4") VCR® 兼容外螺纹垫片密封接头

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