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Entegris 过滤器

Chambergard™ BGN 快速通风扩散器

  • Chambergard™ BGN 快速通风扩散器

  • Chambergard BGN 可快速对装载室和传送室进行排气，而不会扬起颗粒，从而实现高吞吐量。

    获得专利的烧结镍技术在各种应用中提供卓越的性能
    从气体中去除大于 0.0015 µm 的颗粒，以最大限度地减少晶圆缺陷
    紧凑型设计
    通过引入现有设备和改造来减少停机时间

    型号
    Chambergard™ BGN 快速通风扩散器型号
    型号    出口侧连接方式    入口侧连接方式
    WG3DBGNFR4    ISO NW-25    12.7 毫米 (1/2") VCR 公头
    WG3DBGNRR4    无凸缘    12.7 毫米 (1/2") VCR 公头

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